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等离子体化学反应过程中，低温等离子设备等离子体传递的化学能量在反应过程中能量的传递大致如下：
(1)
电场＋电子→高能电子
(2)
高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
(3)
活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4)
活性基团＋活性基团→生成物+热
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离子催化废气处理是一项全新的处理技术，低温等离子体场产生高能量活性粒子，促进催化反应，减少能耗；催化主导反应方向，让反应具有选择性，并能大大减少反应副产物，该技术被认为在处理VOCs、氮氧化物、机动车尾气等方面都有着广阔的发展前景， 同时低温等离子体催化技术也存在一定的缺陷，如能耗高、一次性投资较大等，需要在研究过程中进行不断的完善。
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