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经过长期研究发现，当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。在波长范围154nm-184.9nm(1200KJ/mol-600KJ/mol)高能紫外线的作用下，光氧催化废气处理工作原理，一方面空气中的氧被裂解，然后组合产生臭氧;另一方面将污染物化学键断裂，使之形成游离态的原子或基团;同时产生的臭氧参与到反应过程中，使废气最终被裂解，氧化成简单的稳定的化合物，如CO2、H2O、N2等。
由于与有机废气的燃烧本质一样，都是通过分子吸收能量(燃烧吸收的热能，光解吸收的是光子能量)被裂解后氧化生成简单物质，光氧催化废气处理设备公司，而光解的反应温度为常温，故我们也习惯称其为“冷燃烧”。
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在光催化氧化反应中，在253.7nm波段的紫外线光能的照射下纳米TiO2催化板吸收光能并同时产生电子跃进、空穴跃进，电子跃进和空穴跃进强力结合后产生电子空穴对，光氧催化废气处理原理，一般与表面吸附的H20、O2反应生成氧化性很活波的氢氧自由基（OH-）和超氧离子自由基（O2-、O-）。能够把空气中各种有害气体如苯类、酮类、酯类及其他TVOC类有机物直接氧化原成H2O和CO2等小分子物质，因为采用的氧化剂是空气当中的H2O和O2，所以不会产生任何二次污染。
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